山东贞明半导体技术有限公司集成电路磨划项目环境影响评价公众参与第二次全本公示

瑞景202007

山东贞明半导体技术有限公司集成电路磨划项目

环境影响评价公众参与第二次全本公示

一、项目基本信息

1.1 项目名称

山东贞明半导体技术有限公司集成电路磨划项目

1.2 建设地点

潍坊高新区玉泉路与孵化二巷西南角中微厂区5号厂房

1.3 建设内容

该项目总投资为3000万元，占地面积228m2，建筑面积255.8m2。新购置磨片机、划片机、接膜机、覆膜机、工具显微镜、纯水装置、无油空压机、净化空调等生产设备，项目建成后，可达到年磨划50亿颗芯片的的生产规模。

二、建设单位基本信息

建设单位名称：山东贞明半导体技术有限公司

地址：潍坊高新区孵化二巷155号第一加速器3楼

联系人：肖海莲             电话：15163659996

三、环评单位基本信息

环评编制单位名称：山东正元东弘环保技术有限公司

联系人：潘工

四、建设项目主要污染及防治措施

4.1 环境空气

本项目生产废气主要为磨片水雾、划片粉尘。本项目在磨片过程为湿式打磨，仅在打磨时产生少量水雾，经设备上方集气罩收集后，由1根15米高排气筒P1排放。本项目在晶圆切割时会产生微量颗粒物，颗粒物经集气罩收集，收集效率为90%，收集后的废气在引风机（风机风量为3000m3/h）的作用下进入自带除尘器收集处理，处理效率为95%以上，处理后由1根15米高排气筒P1排放。本项目划片机为密闭装置，无组织废气为磨划工序未收集到的颗粒物。

大气环境影响较小，属于可接受范围。

4.2 地表水

本项目废水主要为生活污水、纯水装置制备纯水时产生的浓水，磨片工序产生的冷却润滑废水和划片工序产生的废水经废水处理装置处理后回用于生产。生活污水与纯水装置制备纯水时产生的浓水经化粪池沉淀处理后，满足上实环境高新（潍坊）污水处理有限公司进水指标后，经市政管网进入上实环境高新（潍坊）污水处理有限公司。生活污水与纯水装置制备纯水时产生的浓水经化粪池沉淀处理后，满足上实环境高新（潍坊）污水处理有限公司进水指标后，经市政管网进入上实环境高新（潍坊）污水处理有限公司。

项目在达标排放前提下，废水排放不会对最终纳污水体浞河产生明显影响，其水污染控制和水环境影响减缓措施有效，依托污水处理设施具有环境可行性。

本项目产生的废水对周围水环境无影响。

4.3 地下水环境影响分析

项目将化粪池、垃圾箱和一般固废暂存处等可能发生污水渗漏的设施和区域作为重点防渗区，其他区域作为一般防渗区。项目建成投入运营后，可能会发生化粪池渗漏，污水管道破裂及垃圾渗滤液渗漏的事故，为避免此类事故发生，造成污水渗漏影响水环境，已采取相应的防渗措施，项目对地下水环境的影响较小。

4.4固废环境影响分析

项目产生的固废处置措施：一般工业固废分类收集后暂存于厂区一般固废暂存间，定期外售废品公司。职工日常生活产生的生活垃圾放置于垃圾站由环卫部门定期清运处理。对于生产性固废设置固定的固废临时堆场，堆场必须设置水泥地面和防雨篷，安排专人定时统一收集、处理。固体废弃物处理符合《一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准》（GB18599-2001）及2013修改单的要求。

本项目固体废物处置符合国家技术政策，各类固废都得以合理安全处置，对周围环境的影响不大。

4.5 声环境影响分析

项目噪声主要来源于磨片机、划片机、揭膜机、覆膜机、贴膜机、空压机等设备生产过程中生产的噪声。通过采用低噪声设备，并进行消声、隔声和减振处理。采取以上妥善措施处理后可使厂界噪达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准，项目噪声对环境影响不大。

4.6 土壤环境影响分析

项目区内生产车间采取严格的硬化及防渗处理。运行过程中的各种污染物均与天然土壤隔离，不会通过裸露区渗入到土壤中；且项目所用原料为无毒无害原料，不会对周围土壤产生影响。

五、公示起止时间

公示时间为10个工作日，自2020年10月12日至2020年10月26日止。公示期间，对项目建设有异议、疑问或建议的公众可以通过信函、传真、电子邮件等方式联系提出意见或建议。

山东贞明半导体技术有限公司

2020年10月12日